Metadaten| Author: | Bernd O. Kolbesen |
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| URN: | urn:nbn:de:hebis:30-65183 |
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| ISSN: | 0175-0992 |
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| Parent Title (German): | Forschung Frankfurt |
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| Publisher: | Univ. Frankfurt, Campusservice |
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| Place of publication: | Frankfurt, M. |
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| Document Type: | Article |
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| Language: | German |
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| Date of Publication (online): | 27.08.2009 |
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| Year of first Publication: | 2004 |
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| Publishing Institution: | Univ.-Bibliothek Frankfurt am Main |
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| Tag: | Halbleitersilicium-Oberflächen ; Mikroelektronik-Technologie ; Reinheit ; Reinigung; Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz-Spektrometrie |
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| Volume: | 22 |
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| Issue: | 2 |
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| Pagenumber: | 3 |
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| First Page: | 43 |
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| Last Page: | 45 |
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| HeBIS PPN: | 215482670 |
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| Institutes: | Biochemie und Chemie |
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| Dewey Decimal Classification: | 660 Chemische Verfahrenstechnik |
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| Sammlungen: | Universitätspublikationen |
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| Licence (German): |  Veröffentlichungsvertrag für Publikationen ohne Print on Demand |
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