Je kleiner desto reiner : Verunreinigungen schädigen Mikrochips

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Metadaten
Author:Bernd O. Kolbesen
URN:urn:nbn:de:hebis:30-65183
ISSN:0175-0992
Parent Title (German):Forschung Frankfurt
Publisher:Univ. Frankfurt, Campusservice
Place of publication:Frankfurt, M.
Document Type:Article
Language:German
Date of Publication (online):2009/08/27
Year of first Publication:2004
Publishing Institution:Univ.-Bibliothek Frankfurt am Main
Release Date:2009/08/27
Tag:Halbleitersilicium-Oberflächen ; Mikroelektronik-Technologie ; Reinheit ; Reinigung; Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz-Spektrometrie
Volume:22
Issue:2
Pagenumber:3
First Page:43
Last Page:45
HeBIS PPN:215482670
Institutes:Biochemie und Chemie
Dewey Decimal Classification:660 Chemische Verfahrenstechnik
Sammlungen:Universitätspublikationen
Licence (German):License Logo Veröffentlichungsvertrag für Publikationen

$Rev: 11761 $