Development of chromium(VI)-free defect etching solutions for application on silicon substrates
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Diese Dissertation steht außerhalb der Universitätsbibliothek leider (aus urheberrechtlichen Gründen) nicht im Volltext zur Verfügung, die CD-ROM kann (auch über Fernleihe) bei der UB Frankfurt am Main ausgeliehen werden.
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| Verfasserangaben: | Jochen Dirk Mähliß |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hebis:30-59791 |
| Verlag: | Univ.-Bibliothek |
| Verlagsort: | Frankfurt am Main |
| Gutachter*in: | Bernd O. KolbesenGND, M. U. Schmidt |
| Dokumentart: | Dissertation |
| Sprache: | Englisch |
| Datum der Veröffentlichung (online): | 07.11.2008 |
| Jahr der Erstveröffentlichung: | 2008 |
| Veröffentlichende Institution: | Universitätsbibliothek Johann Christian Senckenberg |
| Titel verleihende Institution: | Johann Wolfgang Goethe-Universität |
| Datum der Abschlussprüfung: | 30.06.2008 |
| Datum der Freischaltung: | 07.11.2008 |
| Seitenzahl: | 255 |
| Erste Seite: | XX |
| Letzte Seite: | 231 |
| Bemerkung: | Diese Dissertation steht außerhalb der Universitätsbibliothek leider (aus urheberrechtlichen Gründen) nicht im Volltext zur Verfügung, die CD-ROM kann (auch über Fernleihe) bei der UB Frankfurt am Main ausgeliehen werden. |
| HeBIS-PPN: | 353149772 |
| Institute: | Biochemie, Chemie und Pharmazie / Biochemie und Chemie |
| DDC-Klassifikation: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 62 Ingenieurwissenschaften / 620 Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
| Lizenz (Deutsch): |  Archivex. zur Lesesaalplatznutzung § 52b UrhG |
