@phdthesis{Doll2006,
  author      = {Oliver Doll},
  title       = {Komplexbildner f{\"u}r alkalische Reinigungsl{\"o}sungen von Halbleitersiliciumoberfl{\"a}chen : Aspekte ihrer Wirksamkeit und Ihrer chemischen Stabilit{\"a}t},
  type        = {doctoralthesis},
  school      = {Universit{\"a}tsbibliothek Johann Christian Senckenberg},
  year        = {2006},
}