@misc{Wiechula2016,
  author    = {J{\"o}rg Wiechula},
  title     = {Aufbau und Untersuchung eines mit 13,56MHz betriebenen HF-Plasmas},
  url       = {http://www.uni-frankfurt.de/49293580/Diplomarbeit_JWichula.pdf},
  institution = {Physik},
  type      = {diplom},
  pages     = {109},
  year        = {2016},
}