TY  - THES
A1  - Kämpken, Britta
T1  - Untersuchungen zur Herstellung höherer Silane für die Si-CVD
Y1  - 2015
UR  - http://publikationen.ub.uni-frankfurt.de/frontdoor/index/index/docId/36542
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hebis:30:3-365425
PB  - Univ.-Bibliothek
CY  - Frankfurt am Main
ER  -