Erzeugung und Diagnostik eines HF-Plasmas in einem statischen magnetischen Quadrupolfeld

  • Die vorliegende Arbeit präsentiert die Ergebnisse der Erzeugung und Diagnostik eines HF-Plasmas in einem magnetischen Quadrupolfeld. Einen Schwerpunkt bildete dabei der Einfluss des magnetischen Quadrupolfeldes auf die Plasmaparameter Elektronentemperatur Te und Elektronendichte ne. Die Extraktion eines Ionenstrahls bietet die Möglichkeit, Zusammenhänge zwischen den erreichten Strahlparametern und den physikalischen Eigenschaften des HF-Plasmas herzustellen. Zudem wird eine Korrelation zwischen der Geometrie der Entladung, der erreichbaren Plasmaparameter und der eingespeisten HF-Leistung aufgezeigt werden. Zunächst wurde die Elektronentemperatur in Abhängigkeit vom eingestellten Gasdruck und von der Stromstärke in den Feldspulen des magnetischen Quadrupols vermessen. Die Emissionsspektroskopie bot sich hierbei als nicht invasive Diagnostik an. Eine umfangreiche Messreihe ergab schließlich ein Profil der Elektronentemperatur, als Funktion der variablen Parameter Gasdruck und Erregerstromstärke. Die Elektronentemperatur im Plasma lag dabei im Bereich zwischen 3eV ohne Magnetfeld bis maximal 11eV mit magnetischem Einschluss. Hierbei zeigten sich einige, auf den ersten Blick überraschende Ergebnisse. So ergab sich ein lokales Maximum der Elektronentemperatur von 11eV bei einem Gasdruck von 1Pa und einer Flussdichte von 11mT. Als physikalische Ursache konnte die Kombination aus zwei resonanten Heizmechanismen identifiziert werden. Sowohl die stochastische Heizung als auch die lokale Anwesenheit von Zyklotronresonanzbedingungen führten zu einer starken Erhöhung der Elektronentemperatur. Ferner konnte experimentell nachgewiesen werden, dass die charakteristischen Eigenschaften des Quadrupolfeldes, das Entstehen dieser Heizmechanismen in einem engen Parameterbereich begünstigte. In diesem Zusammenhang ist die Ausprägung einer Gyroresonanzzone im HF-Plasma erwähnenswert, deren Ausdehnung mit dem Erregerstrom in den Feldspulen des Quadrupols skaliert und die einen maßgeblichen Einfluss auf die Ausprägung hochenergetischer Elektronen hat. Neben der Diagnostik stand auch die Extraktion eines Ionenstrahls im Vordergrund. Das Potential des Gesamtsystems, als Ionenquelle zu fungieren wurde dabei experimentell verifiziert. Spezifische Strahlstromdichten von 8mA/cm²kW konnten dabei erreicht werden. Es ergab sich hierdurch auch die Möglichkeit, einen Zusammenhang zwischen der Elektronendichte im Plasma und der eingespeisten HF-Leistung herzustellen. Die Ergebnisse dienten anschließen dazu, den Einschluss des Plasmas im magnetischen Quadrupolfeld zu quantifizieren. Beim Betrieb des Plasmagenerators ohne Magnetfeld wurden Elektronendichten von 3 . 1016m-3 erzielt. Mit fokussierendem Quadrupolfeld konnte eine lokale Steigerung der Elektronendichte um den Faktor 10 auf 3 . 1017m-3 dokumentiert werden, was die theoretischen Studien von C. Christiansen und J. Jacoby [Chr99], zu den fokussierenden Eigenschaften eines magnetischen Quadrupols, bestätigte. Große Sorgfalt war bei der Konzeption der HF-Einspeisung erforderlich. Da für Entladungsplasmen ein im hohen Maß nichtlinearer Zusammenhang, zwischen den Plasmaparametern und der eingespeisten HF-Leistung besteht, erwies sich die Entwicklung einer HF-Einkopplung als besondere Herausforderung. Hier zeigte sich die Plasmadiagnostik als unverzichtbares Hilfsmittel, um theoretische Vorhersagen und experimentellen Befund in Einklang zu bringen. Als limitierende Rahmenbedingungen erwiesen sich hier die Abmessungen des Quadrupols. In der vorliegenden Arbeit konnte dokumentiert werden, wie die geometrischen Einschränkungen die Auswahl der HF-Einkopplung bestimmten. Das zur Untersuchung des magnetischen Plasmaeinschlusses verwendete Glasrohr, mit einer verhältnismäßig großen Oberfläche und einem vergleichsweise kleinem Volumen, war für eine kapazitive HF-Einkopplung wesentlich besser geeignet als für die ursprünglich antizipierte induktive Plasmaanregung. Die physikalischen Zusammenhänge zwischen den erreichbaren Plasmaparametern, der verwendeten Koppelmethode, der erzielbaren Stromstärke des Ionenstrahls und den Abmessungen des Entladungsgefäßes, konnten durch eine umfassende Analyse aufgeklärt werden. Zudem wurde auch die Problematik des Zerstäubens von Elektrodenmaterial einer qualitativen Untersuchung unterzogen. Hier kristallisierten sich vor allen Dingen die hohen Randschichtpotentiale bei der verwendeten HF-Einkopplung, als physikalische Ursache für die Sputterrate heraus. Basieren auf den gewonnenen Erkenntnissen wurde eine Maßnahme zur Reduzierung der Sputterproblematik vorgenommen. Die Untersuchung des magnetisch eingeschlossenen Entladungsplasmas brachte Einsichten über die Zusammenhänge zwischen gewählter HF-Einkopplung, den Plasmaparametern und den Rahmenbedingungen der Entladungsgeometrie. Es ergeben sich hierdurch wichtige Erkenntnisse, die eine Aufskalierung des vorliegenden Aufbaus hin zu einer Hochstromionenquelle mit spezifischen Strahlstromdichten von 100mA/cm²kW ermöglichen. Ferner ist auch ein Einsatz der Konfiguration als Plasmatarget möglich, um Wechselwirkungen zwischen hochenergetischen Schwerionen und magnetisch fokussierten Entladungsplasmen zu untersuchen.

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Metadaten
Author:Christian Teske
URN:urn:nbn:de:hebis:30-53284
Referee:Joachim JacobyGND, Klaus Frank
Document Type:Doctoral Thesis
Language:German
Date of Publication (online):2008/03/25
Year of first Publication:2007
Publishing Institution:Universitätsbibliothek Johann Christian Senckenberg
Granting Institution:Johann Wolfgang Goethe-Universität
Date of final exam:2007/09/27
Release Date:2008/03/25
Page Number:177
Note:
Diese Dissertation steht außerhalb der Universitätsbibliothek leider (aus urheberrechtlichen Gründen) nicht im Volltext zur Verfügung, die CD-ROM kann (auch über Fernleihe) bei der UB Frankfurt am Main ausgeliehen werden.
HeBIS-PPN:313746745
Institutes:Physik / Physik
Dewey Decimal Classification:5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik
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