@phdthesis{Metz2005,
  author      = {Steffen Metz},
  title       = {Analytik von Kontaminationen auf Siliciumoberfl{\"a}chen : M{\"o}glichkeiten und Grenzen des VPD-Verfahrens},
  type        = {doctoralthesis},
  school      = {Universit{\"a}tsbibliothek Johann Christian Senckenberg},
  year        = {2005},
}