TY  - THES
A1  - Mähliß, Jochen Dirk
T1  - Development of chromium(VI)-free defect etching solutions for application on silicon substrates
Y1  - 2008
UR  - http://publikationen.ub.uni-frankfurt.de/frontdoor/index/index/docId/5984
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hebis:30-59791
N1  - Diese Dissertation steht außerhalb der Universitätsbibliothek leider (aus urheberrechtlichen Gründen) nicht im Volltext zur Verfügung, die CD-ROM kann (auch über Fernleihe) bei der UB Frankfurt am Main ausgeliehen werden.
SP  - XX
EP  - 231
PB  - Univ.-Bibliothek
CY  - Frankfurt am Main
ER  -