TY  - JOUR
A1  - Kolbesen, Bernd O.
T1  - Je kleiner desto reiner : Verunreinigungen schädigen Mikrochips
T2  - Forschung Frankfurt : Wissenschaftsmagazin der Goethe-Universität
KW  - Mikroelektronik-Technologie
KW  - Halbleitersilicium-Oberflächen
KW  - Reinheit
KW  - Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz-Spektrometrie
KW  - Reinigung
Y1  - 2004
UR  - http://publikationen.ub.uni-frankfurt.de/frontdoor/index/index/docId/6821
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hebis:30-65183
SN  - 0175-0992
VL  - 22
IS  - 2
SP  - 43
EP  - 45
PB  - Univ. Frankfurt, Campusservice
CY  - Frankfurt, M.
ER  -