Je kleiner desto reiner : Verunreinigungen schädigen Mikrochips
Author: | Bernd O. KolbesenGND |
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URN: | urn:nbn:de:hebis:30-65183 |
ISSN: | 0175-0992 |
Parent Title (German): | Forschung Frankfurt : Wissenschaftsmagazin der Goethe-Universität |
Publisher: | Univ. Frankfurt, Campusservice |
Place of publication: | Frankfurt, M. |
Document Type: | Article |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2009/08/27 |
Year of first Publication: | 2004 |
Publishing Institution: | Universitätsbibliothek Johann Christian Senckenberg |
Release Date: | 2009/08/27 |
Tag: | Halbleitersilicium-Oberflächen; Mikroelektronik-Technologie; Reinheit; Reinigung; Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz-Spektrometrie |
Volume: | 22 |
Issue: | 2 |
Page Number: | 3 |
First Page: | 43 |
Last Page: | 45 |
HeBIS-PPN: | 215482670 |
Institutes: | Biochemie, Chemie und Pharmazie / Biochemie und Chemie |
Dewey Decimal Classification: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 66 Chemische Verfahrenstechnik / 660 Chemische Verfahrenstechnik |
Licence (German): | Deutsches Urheberrecht |