Je kleiner desto reiner : Verunreinigungen schädigen Mikrochips
| Author: | Bernd O. KolbesenGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hebis:30-65183 |
| ISSN: | 0175-0992 |
| Parent Title (German): | Forschung Frankfurt : Wissenschaftsmagazin der Goethe-Universität |
| Publisher: | Univ. Frankfurt, Campusservice |
| Place of publication: | Frankfurt, M. |
| Document Type: | Article |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2009/08/27 |
| Year of first Publication: | 2004 |
| Publishing Institution: | Universitätsbibliothek Johann Christian Senckenberg |
| Release Date: | 2009/08/27 |
| Tag: | Halbleitersilicium-Oberflächen; Mikroelektronik-Technologie; Reinheit; Reinigung; Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz-Spektrometrie |
| Volume: | 22 |
| Issue: | 2 |
| Page Number: | 3 |
| First Page: | 43 |
| Last Page: | 45 |
| HeBIS-PPN: | 215482670 |
| Institutes: | Biochemie, Chemie und Pharmazie / Biochemie und Chemie |
| Dewey Decimal Classification: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 66 Chemische Verfahrenstechnik / 660 Chemische Verfahrenstechnik |
| Licence (German): |  Deutsches Urheberrecht |
