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In dieser Arbeit wurden Untersuchungen zur Einstellung und Analyse des Sauerstoffgehalts an YBa2Cu3O6+x-Dünnfilmen durchgeführt. Zur Analyse des Sauerstoffgehalts wurde ein optisches Verfahren angewendet. Durch Messung der Transmission un der Reflektion in einem Spektralbereich von 2000nm bis 3000nm wird mit Hilfe des im Rahmen dieser Arbeit erstellten Markov-Modells die optische Leitfähigkeit bestimmt. Aus den gewonnen Werten der optischen Leitfähigkeit kann so auf den Sauerstoffgehalt in YBa2Cu3O6+x geschlossen werden.