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Development of chromium(VI)-free defect etching solutions for application on silicon substrates
Author: | Jochen Dirk Mähliß |
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URN: | urn:nbn:de:hebis:30-59791 |
Publisher: | Univ.-Bibliothek |
Place of publication: | Frankfurt am Main |
Referee: | Bernd O. KolbesenGND, M. U. Schmidt |
Document Type: | Doctoral Thesis |
Language: | English |
Date of Publication (online): | 2008/11/07 |
Year of first Publication: | 2008 |
Publishing Institution: | Universitätsbibliothek Johann Christian Senckenberg |
Granting Institution: | Johann Wolfgang Goethe-Universität |
Date of final exam: | 2008/06/30 |
Release Date: | 2008/11/07 |
Page Number: | 255 |
First Page: | XX |
Last Page: | 231 |
Note: | Diese Dissertation steht außerhalb der Universitätsbibliothek leider (aus urheberrechtlichen Gründen) nicht im Volltext zur Verfügung, die CD-ROM kann (auch über Fernleihe) bei der UB Frankfurt am Main ausgeliehen werden. |
HeBIS-PPN: | 353149772 |
Institutes: | Biochemie, Chemie und Pharmazie / Biochemie und Chemie |
Dewey Decimal Classification: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 62 Ingenieurwissenschaften / 620 Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
Licence (German): | Archivex. zur Lesesaalplatznutzung § 52b UrhG |