Development of chromium(VI)-free defect etching solutions for application on silicon substrates
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Diese Dissertation steht außerhalb der Universitätsbibliothek leider (aus urheberrechtlichen Gründen) nicht im Volltext zur Verfügung, die CD-ROM kann (auch über Fernleihe) bei der UB Frankfurt am Main ausgeliehen werden.
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| Author: | Jochen Dirk Mähliß |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hebis:30-59791 |
| Publisher: | Univ.-Bibliothek |
| Place of publication: | Frankfurt am Main |
| Referee: | Bernd O. KolbesenGND, M. U. Schmidt |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2008/11/07 |
| Year of first Publication: | 2008 |
| Publishing Institution: | Universitätsbibliothek Johann Christian Senckenberg |
| Granting Institution: | Johann Wolfgang Goethe-Universität |
| Date of final exam: | 2008/06/30 |
| Release Date: | 2008/11/07 |
| Page Number: | 255 |
| First Page: | XX |
| Last Page: | 231 |
| Note: | Diese Dissertation steht außerhalb der Universitätsbibliothek leider (aus urheberrechtlichen Gründen) nicht im Volltext zur Verfügung, die CD-ROM kann (auch über Fernleihe) bei der UB Frankfurt am Main ausgeliehen werden. |
| HeBIS-PPN: | 353149772 |
| Institutes: | Biochemie, Chemie und Pharmazie / Biochemie und Chemie |
| Dewey Decimal Classification: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 62 Ingenieurwissenschaften / 620 Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten |
| Licence (German): |  Archivex. zur Lesesaalplatznutzung § 52b UrhG |
