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In this paper we present first-order reversal curve (FORC) diagrams of ensembles of three-dimensional Co3Fe nanostructures as 2 × 2 arrays of nano-cubes and nano-trees. The structures are fabricated and investigated by an advanced platform of focused electron beam induced deposition combined with high-resolution detection of magnetic stray fields using a home-built micro-Hall magnetometer based on an AlGaAs/GaAs heterostructure. The experimental FORC diagrams are compared to macrospin simulations for both geometries at different angles of the externally applied magnetic field. The measured FORC diagrams are in good agreement with the simulated ones and reflect non-uniform magnetization reversal dominated by multi-vortex states within, and strong magnetic coupling between, the building blocks of our nanostructures. Thus, a FORC analysis of small arrays of 3D magnetic nanostructures provides more detailed insights into the mechanisms of magnetization reversal beyond standard major hysteresis loop measurements.
Der 3D‐Druck von geometrisch komplexen Nanostrukturen ist auf dem Weg zu ersten Anwendungen. Die Auswahl an geeigneten Materialien ermöglicht metallische, halbleitende, isolierende, supraleitende und exotische magnetische Eigenschaften. Das 3D‐FEBID‐Verfahren schreibt mit dem Elektronenstrahl eines Raster‐Elektronenmikroskops wie mit einem Nanostift. Das Material wird als Gasstrom von Precursor‐Molekülen über eine Hohlnadel zugeführt. Der Elektronenstrahl ermöglicht die hochlokale Fragmentierung dieser Moleküle, die meist metallische Zielatome enthalten. Die lokale Verweildauer des Strahls steuert den Strukturaufbau in der Vertikalen, während seine seitliche Bewegung zu geneigten, freistehenden Strukturen führt. Eine Herausforderung ist die definierte Strahlsteuerung, um ein CAD‐Modell möglichst präzise in ein reales 3D‐Nanoobjekt zu überführen. Für die Zukunft soll eine simulationsgestützte Software zur Steuerung des Elektronenstrahls auch Laien die Anwendung erleichtern. 3D‐FEBID ist bereits heute ein zuverlässiges und in vielerlei Hinsicht einzigartiges Verfahren zur Direktabscheidung funktionaler Nanostrukturen.