Metadaten| Author: | Bernd O. Kolbesen |
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| URN: | urn:nbn:de:hebis:30-65183 |
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| ISSN: | 0175-0992 |
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| Parent Title (German): | Forschung Frankfurt : Wissenschaftsmagazin der Goethe-Universität |
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| Publisher: | Univ. Frankfurt, Campusservice |
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| Place of publication: | Frankfurt, M. |
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| Document Type: | Article |
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| Language: | German |
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| Date of Publication (online): | 2009/08/27 |
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| Year of first Publication: | 2004 |
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| Publishing Institution: | Universitätsbibliothek Johann Christian Senckenberg |
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| Release Date: | 2009/08/27 |
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| Tag: | Halbleitersilicium-Oberflächen; Mikroelektronik-Technologie; Reinheit; Reinigung; Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz-Spektrometrie |
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| Volume: | 22 |
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| Issue: | 2 |
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| Page Number: | 3 |
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| First Page: | 43 |
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| Last Page: | 45 |
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| HeBIS-PPN: | 215482670 |
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| Institutes: | Biochemie, Chemie und Pharmazie / Biochemie und Chemie |
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| Licence (German): |  Deutsches Urheberrecht |
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Deutsches Urheberrecht