Je kleiner desto reiner : Verunreinigungen schädigen Mikrochips

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Metadaten
Author:Bernd O. Kolbesen
URN:urn:nbn:de:hebis:30-65183
ISSN:0175-0992
Parent Title (German):Forschung Frankfurt : Wissenschaftsmagazin der Goethe-Universität
Publisher:Univ. Frankfurt, Campusservice
Place of publication:Frankfurt, M.
Document Type:Article
Language:German
Date of Publication (online):2009/08/27
Year of first Publication:2004
Publishing Institution:Universitätsbibliothek Johann Christian Senckenberg
Release Date:2009/08/27
Tag:Halbleitersilicium-Oberflächen; Mikroelektronik-Technologie; Reinheit; Reinigung; Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz-Spektrometrie
Volume:22
Issue:2
Page Number:3
First Page:43
Last Page:45
HeBIS-PPN:215482670
Institutes:Biochemie, Chemie und Pharmazie / Biochemie und Chemie
Licence (German):License LogoDeutsches Urheberrecht