Kleingedrucktes mit großem Effekt
- Der 3D‐Druck von geometrisch komplexen Nanostrukturen ist auf dem Weg zu ersten Anwendungen. Die Auswahl an geeigneten Materialien ermöglicht metallische, halbleitende, isolierende, supraleitende und exotische magnetische Eigenschaften. Das 3D‐FEBID‐Verfahren schreibt mit dem Elektronenstrahl eines Raster‐Elektronenmikroskops wie mit einem Nanostift. Das Material wird als Gasstrom von Precursor‐Molekülen über eine Hohlnadel zugeführt. Der Elektronenstrahl ermöglicht die hochlokale Fragmentierung dieser Moleküle, die meist metallische Zielatome enthalten. Die lokale Verweildauer des Strahls steuert den Strukturaufbau in der Vertikalen, während seine seitliche Bewegung zu geneigten, freistehenden Strukturen führt. Eine Herausforderung ist die definierte Strahlsteuerung, um ein CAD‐Modell möglichst präzise in ein reales 3D‐Nanoobjekt zu überführen. Für die Zukunft soll eine simulationsgestützte Software zur Steuerung des Elektronenstrahls auch Laien die Anwendung erleichtern. 3D‐FEBID ist bereits heute ein zuverlässiges und in vielerlei Hinsicht einzigartiges Verfahren zur Direktabscheidung funktionaler Nanostrukturen.
Author: | Michael HuthORCiDGND, Lukas Keller, Harald PlankORCiD, Robert WinklerORCiD |
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URN: | urn:nbn:de:hebis:30:3-563715 |
DOI: | https://doi.org/10.1002/piuz.201901561 |
ISSN: | 1521-3943 |
ISSN: | 0031-9252 |
Parent Title (German): | Physik in unserer Zeit |
Publisher: | Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA |
Place of publication: | Weinheim |
Document Type: | Article |
Language: | German |
Date of Publication (online): | 2020/03/02 |
Date of first Publication: | 2020/03/02 |
Publishing Institution: | Universitätsbibliothek Johann Christian Senckenberg |
Release Date: | 2020/10/16 |
Volume: | 51 |
Issue: | 2 |
Page Number: | 8 |
First Page: | 94 |
Last Page: | 71 |
HeBIS-PPN: | 472986880 |
Institutes: | Physik / Physik |
Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 67 Industrielle Fertigung / 670 Industrielle Fertigung | |
Sammlungen: | Universitätspublikationen |
Licence (German): | Creative Commons - Namensnennung-Nicht kommerziell - Keine Bearbeitung 4.0 |